技術(shù)業(yè)務(wù)張經(jīng)理：139-1328-9739 |
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隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，尤其是超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)的飛躍發(fā)展，在潔凈室中除了要求控制微粒、微生物的濃度外，化學(xué)污染物或重金屬物質(zhì)對產(chǎn)品質(zhì)量和人員健康的影響也日益受到關(guān)注。空氣中能夠危害產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量、引起產(chǎn)品成品率降低的化學(xué)污染物質(zhì)被稱為“分子級污染物（AMC）”?？諝庵械腁MC包括多種有害氣體和金屬離子，屬于酸性AMC的化學(xué)腐蝕性氣相物質(zhì)有氟化氫（HF）、二氧化硫（SO）、氯化氫（HCl）、氮氧化物（NO.）等；堿性AMC主要有氨（NE）、甲胺（CHNH）等；可凝性AMC是指在常溫常壓下能在干凈表面凝結(jié)的氣相物質(zhì)，如有機(jī)氣體、碳?xì)浠衔锏?；摻雜性AMC是指能夠改變半導(dǎo)體材料性能的化學(xué)物質(zhì)，如硼~（B）、磷（P）、鉀（K）、鈉（Na）、鈣（Ca）和各種金屬離子等。
為了控制潔凈室內(nèi)空氣中各類化學(xué)污染物的濃度，應(yīng)采用多種污染物控制技術(shù)措施，包括潔凈室建造材料污染物控制、人員污染物控制、原輔材料污染物控制、生產(chǎn)工藝方法污染控制、室外和室內(nèi)空氣污染物控制等。對潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)要求裝設(shè)化學(xué)過濾器或在潔凈室內(nèi)設(shè)置局部超凈設(shè)備或微環(huán)境隔離易受 AMC污染危害的生產(chǎn)工藝或生產(chǎn)設(shè)備。目前國內(nèi)外都在研究開發(fā)各種類型的化學(xué)過濾器，國外已有化學(xué)過濾器系列產(chǎn)品出售。表1.5.48是日本一家公司生產(chǎn)的化學(xué)過濾器技術(shù)數(shù)據(jù)。
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